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2024-02-23 18:00:00
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EV Group, ‘NanoCleave’ 레이어 릴리즈 기술 발표
MEMS, 나노기술, 반도체 시장용 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 전문기업 EV Group(EVG)은 반도체 제조를 위한 혁신적인 레이어 릴리즈 기술인 ‘NanoCleave’를 출시한다고 밝혔다.‘NanoCleave’는 첨단 로직, 메모리, 전력 반도체 프런트 엔드 공정은 물론 첨단 반도체 패키징에 초박형 레이어 적층을 가능하게 하는 기술로 실리콘을 투과하는 파장대를 갖는 적외선(IR) 레이저를 사용하는 것이 특징이다. 또한 특수하게 조성된 무기질 레이어와 함께 사용할 경우 나노미터의 정밀도로 실리콘 캐리어로부터..
S경제2022-09-22
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