인베니아, 플라즈마 처리 안테나 장치 특허 취득

[서울경제TV=배요한기자] 디스플레이 장비 전문기업 인베니아가 ‘유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치’ 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 이번 특허는 건식식각장비 상하부 사이에 브릿지 안테나를 배치, 장비 내부 절연창 및 프레임바 등 필수 구성물과 안테나 간의 간섭을 최소화하고 연결 안테나 높이를 조절 가능하게 할 수 있다. 이는 공정공간 안에서 형성되는 플라즈마 균일도와 장비의 내구성이 향상되는 효과와 플라즈마 밀도의 정밀한 조절이 가능하며 현재 인베..

증권2020-09-25

인베니아, 中 HKC와 디스플레이 장비 650억원 공급계약

[서울경제TV=배요한기자] 디스플레이 장비 전문기업 인베니아가 중국 HKC(CHangsha HKC Optoelectronics Technology Co.,Ltd.)와 약 650억원 규모의 디스플레이 장비 공급계약을 체결했다고 14일 밝혔다.이는 인베니아 상반기 매출액인 669억원에 육박하는 규모로 계약기간은 2021년 8월 19일까지다.인베니아의 주력장비인 건식식각장비는 박막트랜지스터(TFT) 기판 위에 불필요한 부분을 플라즈마를 이용해 깎아 내는 장비로 LCD 공정 뿐만 아니라 OLED 공정에서도 적용이 가능하다.인베니아는 지..

증권2020-08-14